VACGEN真空コンポーネント　目次
項目	セクション番号	ページ番号
１．フランジおよびガスケット	１	１−０１
２．フィッティング・ビューポート・変換フランジ	２	２−０１
３．バルブ・リークバルブ・オールメタルバルブ	３	３−０１
４．直線・回転導入器	４	４−０１
５．マニピュレーター	５	５−０１
６．サンプル移送器・ウォーブルスティック	６	６−０１
７．ポンプおよびトラップ	７	７−０１
８．真空計	８	８−０１
９．ベーキングコンポーネント	９	９−０１
１０．真空チェンバー	１０	１０−０１